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单轴高精度直线模组
直线模组采用进口无铁芯直线电机驱动,平台行程从100到600 mm,平台设计精良,轴系装配工艺严谨,性能高,但成本低。这种直线模组可广泛应用于需要高性价比、高精度解决方案的工业应用,如半导体晶圆检测、微电子元件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。
这款直线模组采用无铁芯直线电机作为驱动部件。该直驱平台具有高速度、较高加速度和稳定的精度性能。与丝杆驱动相比,直线模组结构更紧凑,效率更高。单轴直线模组为要求高吞吐量、高可靠性、定位和静音运行的应用提供了更好的系统解决方案。
具有良好线性表现的直线模组集成开放式增量光栅系统可以提供亚纳米级分辨率、重复性和稳定性。稳定的光学零位保证了双向归零的重复性和可靠性。经过激光干涉仪的标定补偿,可以很容易地获得理想的定位精度。轻松实现您对高精度定位的要求。
XY轴高精度直线模组
XY轴平台由标准单轴精密直驱平台组成,可同步或独立控制两台直线电机。由于采用标准平台进行叠加组合应用,行程、载荷、定位精度和双向重复定位精度可根据实际需要进行选择,具有选择范围广、组合灵活、成本低等特点。,所以它是一个直驱产品模块化的平台。
XY轴高精度直线模组采用进口动定子,位置反馈采用光栅编码器,导向装置为精密直线导轨。直线模组的高加速、高速度、高精度的优势在这个平台上体现好。同时电机线圈与磁轨运行无接触、无磨损、无反向间隙,因此其维护要求非常低。广泛应用于高精度测试、图像检测、激光切割、雕刻、达标等设备。
XYZ轴高精度直线模组
XYZ平台由一个标准的单轴精密直驱平台组成,可以同步或独立控制两个直线电机。具有高加速度、高速度、高稳定性、高可靠性的特点。可根据实际需要分别选择行程、载荷、定位精度和双向重复定位精度,可选范围广,组合灵活,成本低。这是一个模块化平台,使直接驱动产品实用化。TICO直线模组广泛应用于高速测试、激光切割、激光雕刻、高速取放、自动装配、图像检测、点胶机和包装。