模组滑台为芯片制造助力

2022-03-11

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目前很多电子产品的两大核心器件是芯片和屏幕。芯片是大多数电子设备的核心部件，被誉为“工业粮食”。它不仅广泛应用于智能手机、电视、电脑、汽车等电子设备，而且在军事、通信、遥控等领域也不可或缺。是5G、人工智能、物联网、自动驾驶等不可或缺的基础。然而，芯片制造在世界上是一个复杂的制造业。

以芯片制造中的光刻工序为例：

首先在晶圆上涂上一层特殊的光刻胶，然后将包含数十亿个电路元件的芯片蓝图做成掩膜，将缩小后的掩膜通过光投影的方式投射到晶圆的光刻胶膜上。光刻胶膜上发生光化学反应，被照射区域变成可溶于水，显影清洗后留下的图案与掩膜上的一致。用专用的特制化学溶液对曝光后的晶圆进行刻蚀，刻蚀后清除所有光刻胶，得到纵横交错的电路沟槽。

这个过程需要非常严谨的机器设备，尤其是光刻机。因为光刻机需要高精度的系统来对准光刻，制造高精度对准系统几乎需要非常好的精密机械技术工艺，而直线模组是光刻机中高精度系统的选择。

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